1.仪器设备简介
高分辨率场发射扫描电子显微镜（SEM）
仪器名称：高分辨率场发射扫描电子显微镜/ High Resolution Field Emission Scanning Electron Microscope
仪器厂家：日本日立公司
仪器型号：SU8010
仪器价值：2,756,600.00元
安装位置：112
1原理介绍：
超高分辨率场发射扫描电子显微镜SU8010，在使用1kv减速功能后，分辨率提升到1.3nm，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理。电镜配有高性能X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，能在不损坏样品同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
主要技术特点：
（1）优秀的低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm；
（2）Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像；
（3）可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；
（4）标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；
（5）仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。
主要技术指标：
（1）加速电压：0.1～30 kV
（2）观测倍率：20～1,200,000
（3）二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV）
1.3nm（加速电压1kV）
（4）工作距离：0.5～30mm
主要附件：X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)
探测元素范围Be4-U92
主要功能：
（1）观测块状金属（不包括磁性材料）、非金属固体材料、纤维、薄膜的表面或断面的微区形貌；
（2）微粒或纤维形状的观察及尺寸分析；
（3）材料及电子器件失效分析的测试；
（4）高分子、陶瓷、混凝土、生物、矿物、纤维等无机或有机固体材料成分分析；
（5）进行材料表面微区成分的定性、定量分析，在材料表面做元素的点、线、面分布分析。
（6）矿物学研究；
① 土壤分析：观测粘土矿物的转变过程，判断粘土矿物成因。
② 矿物成因，沉积史，沉积相分析：观测各类微细矿物的形态及表面微细结构，对稳定矿物的表面特征进行研究，可追溯矿物的成因、沉积史及沉积相，重塑地质作用过程。
（7）储集层研究；
① 油气层中地层微粒研究：场发射扫描电镜能给出孔隙系统中微粒的类型、大小、含量、共生关系的资料，能有效的估计地层流体的临界流速和速敏程度，便于有针对性地采取措施防止或解除因分散、运移造成的损害。
② 油气层孔喉的观测：场发射扫描电镜立体感强，更适于观察孔喉的形态、大小、及与孔隙的连通关系。对孔喉表面的粗糙度、弯曲度、孔喉尺寸的观测能揭示微粒的捕集、拦截的位置及难易程度，对研究微粒的运移和外来固相侵入有重要的意义。
③ 油气层损害的监测：利用背散射电子图像，对无机和有机垢的晶体形态、排布关系的观察，可以为抑垢、 除垢、筛选处理剂、优化工艺提供依据。
（8）工程地质研究；
① 活断层的判断：根据断层泥中石英的表面微结构，判断活断层的活动时代、活动方式及活动次数。
② 滑坡稳定性的研究：根据滑坡滑带土的微结构，判断滑坡的活动阶段、活动次数及活动方向，进而判断滑坡的稳定性。
应用领域：
广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。
2.测试项目
① 地质样品分析，岩石矿物学研究，微体生物结构及种属确定；煤及干硌根分析；
② 材料表面结构分析：块状金属、非金属固体材料、纤维、薄膜的表面或断面微区的形貌；
③ 微粒或纤维形状的观察及尺寸分析；
④ 纳米材料粒径测试和形貌观察；
⑤ 材料及电子器件失效分析的测试；
⑥ 商品的检验，产品生产的质量控制；
3.送样要求
① 干燥的固体样品；
② 样品无磁性、无挥发性、无腐蚀性、放射性等对设备和人员产生损害的样品。
上述①②两项必须同时具备，方可测试。
4.收费标准
① 一般样品（二次电子，背散射电子像分析）：校外：750元/时；校内：500元/时；材化：400元/时。
② 特殊样品（包括样品制备、喷碳、分析报告等）：2500元/样
碎屑岩：（1）分析储集层颗粒的大小、分选、磨圆；（2）分析胶结物特征（包括胶结物类型、存在方式、含量等）；（3）分析空隙特征（包括空隙含量、大小、空隙连通情况、喉道大小、空隙类型）；（4）分析成岩后生作用对砂岩储集层的影响（包括石英次生加大，溶解及淋滤作用）据此判断岩石储集性能。
石英砂与成因分析：（1）样品的选择与处理；（2）石英砂表面结构观察：a砂粒的形态；b粒级的圆磨度；c特定沉积环境的标志；d成岩过程标志；e标志之间交接关系或叠置顺序，解译各标志所代表的各阶段动力特点以分析其沉积史。最终确定沉积环境。
断层泥：判定断层的活动方式、活动次数、活动年代。
滑坡：判定滑坡的运动方式、活动次数、分析滑坡的稳定性，指示滑体的移动方向。
③ 成分分析（EDS能谱，范围：Be4～U92）：校外：800元/时；校内：700元/时；材化：600元/时。校外：200元/点；校内：100元/点；材化：60元/点。EDS元素分布：线扫：150元/元素，面扫：200元/元素。
材料表面形貌分析、测量层厚、粒度分析；同时可以对材料中微区元素定性、半定量分析、线分布、面分布。（样品表面需要抛光，非导电的材料需要喷碳）。EDS元素分析：
④ 场发射扫描电镜样品制备：镀 金、喷碳，200元/次。
